電子顯微鏡，簡稱電鏡,經(jīng)過五十多年的發(fā)展已成為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可缺少的重要工具。

電子顯微鏡的組成主要有三部分：鏡筒、真空裝置和電源柜

鏡筒主要有電子源、電子透鏡、樣品架、熒光屏和探測器等部件，這些部件通常是自上而下地裝配成***個(gè)柱體。電子顯微鏡下的纖維電子透鏡用來聚焦電子，是電子顯微鏡鏡筒中***重要的部件。***般使用的是磁透鏡，有時(shí)也有使用靜電透鏡的。它用***個(gè)對稱于鏡筒軸線的空間電場或磁場使電子軌跡向軸線彎曲形成聚焦，其作用與光學(xué)顯微鏡中的光學(xué)透鏡（凸透鏡）使光束聚焦的作用是***樣的，所以稱為電子透鏡。電子顯微鏡樣品可以穩(wěn)定地放在樣品架上，此外往往還有可以用來改變樣（如移動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)、加熱、降溫、拉長等）的裝置。探測器用來收集電子的信號或次***信號。

真空裝置用以保障顯微鏡內(nèi)的真空狀態(tài)，這樣電子在其路徑上不會(huì)被吸收或偏向，由機(jī)械真空泵、擴(kuò)散泵和真空閥門等構(gòu)成，并通過抽氣管道與鏡筒相聯(lián)接。

電源柜由高壓發(fā)生器、勵(lì)磁電流穩(wěn)流器和各種調(diào)節(jié)控制單元組成

電子顯微鏡的種類：

按結(jié)構(gòu)和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電子顯微鏡和發(fā)射式電子顯微鏡等。

透射式電子顯微鏡常用于觀察那些用普通顯微鏡所不能分辨的細(xì)微物質(zhì)結(jié)構(gòu)；掃描式電子顯微鏡主要用于觀察固體表面的形貌，也能與X射線衍射儀或電子能譜儀相結(jié)合，構(gòu)成電子微探針，用于物質(zhì)成分分析；發(fā)射式電子顯微鏡用于自發(fā)射電子表面的研究。