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全球***次實(shí)現(xiàn)在掃描電子顯微鏡上安裝聚焦X射線微區(qū)熒光分析!
-提高微量元素分析的靈敏度
-更大的信息深度, 有益于鍍層厚度分析
-將電子束微束分析和微區(qū)X射線熒光分析結(jié)果相結(jié)合, 顯著改善分析的精度
 SEM能譜分析和微區(qū)X射線熒光的優(yōu)缺點(diǎn)

?         SEM能譜分析的特點(diǎn):

?         空間分辨率相對較高: 亞微米***

?         檢測極限在百分比***: 1~0.1%(weight). 不適合分析微量元素.

?         電子束韌致輻射(bremsstrahlung)造成譜背底很大

X射線激發(fā)熒光分析的特點(diǎn):

?         檢測極限提高20~50倍, 可達(dá)到<50ppm

?         激發(fā)深度可達(dá)幾十微米, 特別適合多層鍍層的分析

?         非導(dǎo)電材料可直接分析

?         空間分辨率較差, 約幾十微米

?         結(jié)合SEM能譜和X射線熒光兩個(gè)譜, 可以大大提高分析的精確度.

iMOXS.SEM系統(tǒng)由以下單元組成:

-  小功率﹑空冷的微型聚焦X射線管(陽極材料有多種選擇)

-  聚焦型多毛細(xì)管X射線光學(xué)系統(tǒng)

-  掃描電鏡接口和對中法蘭

-  高壓控制器和電源單元(可選手動控制型或PC控制型)

-  iMOXS-Quant軟件包, 包括儀器控制﹑譜圖定性和定量分析等模塊

 LiAlCaF6:Cr激光晶體的電子束和X射線激發(fā)熒光譜的對比。X射線激發(fā)熒光譜具有更高的激發(fā)效率和更低的背景噪音。

 技術(shù)參數(shù)

X射線源

?         空冷側(cè)窗式微聚焦X射線管

?         陽極材料: Cu, Mo, Rh, W (其它陽極可根據(jù)用戶要求定制)

?         最大參數(shù): 50kV, 800μA, 30W

?         陽極束斑: 約50 x 50 μm

?         側(cè)窗: 100 μm Be

?         光閘和4過濾器輪(可選)

?         支持各種掃描電子顯微鏡型號, 如FEI, HITACHI, JEOL, Tescan, ZEISS等

高壓和控制器單元

?         參數(shù): 50kV, 800μA

?         穩(wěn)定性: 優(yōu)于 0.02%

?         安全鎖電子系統(tǒng)

X射線光學(xué)

?         多毛細(xì)管光學(xué)系統(tǒng), 適用于各種型號SEM

?         束斑尺寸: 約 60 μm (Mo-K)

?         外形尺寸(H x W x D)： X射線源: 279 x 57 x115 mm, 重約3.5kg

?         控制單元: 165 x 280 x420 mm, 重約8kg