日立 FT9300系列 X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x
概要：
高速X射線管球的搭載，實(shí)現(xiàn)了高精度的測(cè)定。而且配合極微小準(zhǔn)直器和光學(xué)變焦鏡頭可以實(shí)現(xiàn)極微小部分的測(cè)定。更可以對(duì)有高低平面差異的樣品進(jìn)行測(cè)定。
技術(shù)參數(shù)：
可測(cè)量元素：原子序數(shù)22(Ti)～83(Bi)
X射線源：小型空氣冷卻型高功率X射線管球(Mo靶)
管電壓： 50kV 管電流： 1.5mA Be 窗
濾波器：***次濾波器：Mo 二次濾波器：Co (自動(dòng)切換)
照射方式：上方垂直照射方式
檢測(cè)器：比例計(jì)數(shù)管
準(zhǔn)直器：方型：0.025×0.2mm 0.2×0.025mm
圓形：Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm
安全性能：樣品室門自鎖功能、樣品防沖撞功能、自動(dòng)診斷功能
樣品圖像對(duì)焦方式：激光自動(dòng)對(duì)焦
樣品觀察：彩色CCD攝像頭 倍率光學(xué)器 鹵素?zé)粽彰?nbsp;
樣品平臺(tái)大小及承重：FT9300:240mm(W) ×170mm(D) 10kg
FT9350:420mm(W) ×330mm(D) 5kg
FT9355:700mm(W) ×600mm(D) 3kg
重量：FT9300/SFT9350:125kg (不含電腦)
FT9355:130kg(不含電腦)
修正功能：底材修正、已知樣品修正、人工輸入修正
測(cè)量報(bào)告書制作：配備MS-EXCEL MS-WORD(使用宏支持自動(dòng)制作測(cè)量報(bào)告書)測(cè)量能譜與樣品圖像保存功能
特點(diǎn)：
1. 75W高功率X射線管
能夠提高X射線的生產(chǎn)效率，實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量，有效縮短測(cè)量時(shí)間，只需過去的1/4
2. 超微小型準(zhǔn)直器
除了搭載了標(biāo)準(zhǔn)配置的50μm準(zhǔn)直器，還配備了測(cè)量微小部位用的15μm準(zhǔn)直器
對(duì)應(yīng)所選擇準(zhǔn)直器的實(shí)際X射線光束照射的尺寸，可以顯示在樣品畫面上
3. 倍率式光學(xué)系
可以準(zhǔn)確地對(duì)微小部分進(jìn)行對(duì)焦，還可以對(duì)應(yīng)各測(cè)量點(diǎn)間有高低的樣品
4. 實(shí)現(xiàn)了高精度自動(dòng)X-Y-Z樣品臺(tái)與圖像處理軟件的高速自動(dòng)測(cè)量
5. 擁有防沖功能
6. 搭載高精度樣品平臺(tái)，更可測(cè)量大型線路板(FT9355)
7. 自動(dòng)對(duì)焦功能
配備激光自動(dòng)對(duì)焦功能，能夠準(zhǔn)確對(duì)焦，提高測(cè)量效率。
8. 即時(shí)生成測(cè)量報(bào)告的便捷性
運(yùn)用搭載的Microsoft Word Excel 可以簡(jiǎn)單輕松得到制作報(bào)告。
9. 搭載了高功率X射線管
10. 擁有自動(dòng)測(cè)量軟件以及中心搜索軟件
11. 搭載了薄膜FP法軟件、圖像處理軟件以及塊體FP法軟件，可實(shí)現(xiàn)高精度幾高效率的微小樣品檢測(cè)***小樣品尺寸直徑3.5um
2.容易決定微小測(cè)量部位
3.影像對(duì)焦系統(tǒng)
4.凹凸樣品的凹下部位的測(cè)量
5.再現(xiàn)性佳
滬公網(wǎng)安備31011502016460號(hào)
