日立 FT9500系列 X射線熒光鍍層厚度測量儀
價 格：詢價
產(chǎn) 地：更新時間：2020-12-15 09:33
品 牌：日立型 號：FT9500系列
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產(chǎn)品介紹
日立 FT9500系列 X射線熒光鍍層厚度測量儀
儀器簡介：
X射線發(fā)生系統(tǒng)為X射線聚焦光學(xué)系統(tǒng)（聚焦導(dǎo)管）與X射線源相結(jié)合，并且可以照射出實際照射直徑為0.1mmΦ以下高強(qiáng)度的X射線束。為此，可以對以往X射線熒光鍍層厚度測量儀由于照射強(qiáng)度不足而無法得到理想精度的導(dǎo)線架、插接頭、柔性線路板等微小部件及薄膜進(jìn)行測量。同時搭載高計數(shù)率、高分辨率的半導(dǎo)體檢測器，在測量鍍層厚度的同時，也能對RoHS、ELV、中***版RoHS等法規(guī)所管制的有害物質(zhì)進(jìn)行分析測量。
技術(shù)參數(shù)：
| 型號 | FT9500 | FT9550 | FT9500L |
|---|
| 測量元素 | Al（13）～Bi（83） |
| X射線源 | 管電壓：50（可變更）kV
管電流： 10～1000 μA |
| 檢測器 | 半導(dǎo)體檢測器（無需液氮） |
| X射線聚光 | 聚光導(dǎo)管方式 |
| 樣品觀察 | CCD攝像頭（帶變焦功能） |
| 對焦 | 激光對焦 |
| 濾波器 | ***次濾波器：3個位置（自動切換） |
| 樣品區(qū)域 | X:240mm, Y:175mm
X:220mm, Y:150mm, Z:150mm | X:420mm, Y:330mm
X:400mm, Y:300mm, Z:50mm | X:840mm, Y:540mm
X:400mm, Y:300mm, Z:50mm |
| 測量軟件 | 薄膜FP法（***大5層、10種元素）、檢量線法、塊體FP法（材料組成分析） |
| 安全功能 | 樣品門聯(lián)鎖 |
1. 薄膜及多層膜測量
通過采用新型的毛細(xì)管（X射線聚光系統(tǒng)）和X射線源，把與以往機(jī)型FT9500同等強(qiáng)度的X射線聚集在30 μmΦ的極微小范圍。因此，不會改變測量精度即可測量幾十微米等***的微小范圍。
同時，也可對幾十納米等***的Au/Pd/Ni/Cu多鍍層的各層膜厚進(jìn)行高精度測量。
2. 異物分析
通過高能量微小光束和高計數(shù)率檢測器的組合，可進(jìn)行微小異物的定性分析。利用CCD攝像頭選定樣品的異物部分并照射X射線，通過與正常部分的能譜差進(jìn)行異物的定性分析（Al～U）。
3. 數(shù)據(jù)編輯功能
配備了Microsoft Excel和Microsoft Word。在Microsoft Excel上面配備了統(tǒng)計處理軟件，可以進(jìn)行測量數(shù)據(jù)、平均值、***大/***小值、C.V.值、Cpk等的統(tǒng)計處理。 另外，通過Microsoft Word可以簡單的制作包含了樣品畫圖的測量報告書。
4. 高強(qiáng)度照射
通過高強(qiáng)度照射在微小部分也可以鮮明的觀察、聚焦位置。
5. 樣品工作臺
配備等同與FT9550X的大型樣品臺，能夠?qū)Υ笮途€路板等樣品進(jìn)行整體排列測量對應(yīng)。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
