日立FT9400系列X射線熒光鍍層厚度測量儀
儀器簡介：
FT9000系列里***高的機型就是FT9455。搭載著75W高性能X射線管和雙向分離工檢測器（半導體檢測器+比例計數(shù)管），符合“薄膜”、“合金膜”、“極微小部分測定”等鍍膜厚度測定要求的高性能膜厚度測量儀。FT9455還在鍍膜厚度測定功能的基礎之上增加了異物定性和查資料成分分析的功能。
技術(shù)參數(shù)：
| 型號 | FT9400 | FT9450 | FT9455 |
|---|
| 測量元素 | 原子序號Ti（22）～Bi（83）
原子序號21以下的元素可通過吸收法測量 |
| X射線源 | 空冷式小型X射線管
管電壓：50（可變更）kV
管電流： 10～1000 μA |
| 檢測器 | 比例計數(shù)管＋半導體檢測器（無需液氮） |
| 準直器 | 4種類(0.015, 0.05, 0.1, 0.2 mmφ) |
| X射線聚光 | 激光對焦 |
| 濾波器 | ***次濾波器： Mo－自動切換 |
| 樣品區(qū)域 | X:240 mm, Y:170 mm
X:220 mm, Y:150 mm, Z:150 mm | X:420 mm, Y:330 mm
X:400 mm, Y:300 mm, Z:50 mm | X:700 mm, Y:600 mm
X:400 mm, Y:300 mm, Z:15 mm |
| 測量軟件 | 薄膜FP法（***大5層、10種元素）、檢量線法、塊體FP法（材料組成分析） |
| 安全功能 | 樣品室門聯(lián)鎖、樣品沖突防止功能、儀器診斷功能 |
主要特點：
搭載雙向分離工檢測器（半導體檢測器+比例計數(shù)管）
搭載在X射線能量分辨率上，的半導體檢測器（起作用液化氮）和計數(shù)率的比例計數(shù)管，能夠根據(jù)運用需要對應使用。特點是半導體檢測器，能夠區(qū)分Ni和Cu這樣相似的元素。它有以下的特點：
1. 能夠?qū)i/Cu和Au/Ni/Cu不需要二次過濾的情況下進行測定
2.對于含Br的打印基板，可以做到不受Br干擾進行高精度的Au鍍膜厚度測定
3.能夠測定0.01μm以下極薄的Au鍍膜
4. 薄膜FP軟件
對應含鉛的合金鍍膜和多層鍍膜等，適用于廣泛的運用領域。
5. 適用測定極微小部分
15μmΦ的準直管為標準裝備。能夠測定微小部分鍍膜厚度。
6. 搭載75W高性能X射線管
7. 容易對微小領域進行觀察
搭載了能4階段切換的可變焦距光學系統(tǒng)。
8. 能夠測定大型打印基板的大型平臺
9. 依據(jù)照明，能夠觀察以往難以觀察的樣品
10. 搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器
11. 利用伺服馬達精確的驅(qū)動平臺
12. 正確的對焦
利用激光能夠正確得對焦測試樣品。
13. 報告制作軟件
運用微軟的軟件能夠簡單得把測定的數(shù)據(jù)制作成書面材料。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
