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商品編號：32467

光學(xué)NanoGauge C10178-02

價格：詢價

產(chǎn) 地：更新時間：2020-12-15 10:28

品牌：其他型號： C10178-02

狀態(tài)：正常點擊量：2978

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產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品介紹

詳細(xì)參數(shù)

型號	C10178-02
可測膜厚范圍（玻璃）	20 nm to 30 μm*1
測量可重復(fù)性（玻璃）	0.02 nm2 3
測量準(zhǔn)確性（玻璃）	±0.4 %3 4
光源	D2-Halogen light source
光斑尺寸	Approx. φ1 mm*3
工作距離	10 mm*3
可測層數(shù)	Max. 10 layers
分析	FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
測量時間	19 ms/point*5
光纖連接頭	φ12 sleeve shape
外部控制功能	RS-232C, PIPE, Ethernet
電源	AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗	Approx. 210 VA
測量波長范圍	200 nm to 950 nm
接口	USB 2.0
測量模式（特征）	supports UV

*1 轉(zhuǎn)換時玻璃的折射率是1.5

*2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時為標(biāo)準(zhǔn)偏差（公差）

*3 取決于光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù)

*4 測量保證范圍同VLSI標(biāo)準(zhǔn)測量保證文件***致

*5 ***短曝光時間

產(chǎn)品特性

● 高速、高準(zhǔn)確性（可測膜厚范圍（玻璃）：20 nm-30μm）

● 實時測量

● 非恒定膜層的精確測量

● 分析光學(xué)常量(n, k)

● 可外部控制

● 可以使用特定附件測量量子產(chǎn)率，反射率，透射率和吸收率

外形尺寸（單位：mm）

產(chǎn)品優(yōu)勢
C10178型光學(xué)納米膜厚測量系統(tǒng)是***款利用光譜干涉法測量薄膜厚度的非接觸式測量系統(tǒng)。光譜干涉法可以快速、高精度以及高靈敏度地測量出薄膜厚度。濱松的產(chǎn)品使用多通道光譜儀PMA作為檢測器，測量各種光學(xué)濾光片和涂膜厚度的同時還可以測量量子產(chǎn)率，反射率，透射/吸收率等參數(shù)。

C10178-02支持UV（200 nm至950 nm）。

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光學(xué)NanoGauge C10178-02

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