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IC檢測晶圓裝載機
IC檢測晶圓裝載機NWL860TMB/TM/T
***個的宏觀檢查的主機需要***流的功能

    為了支持*新的晶圓的過程，涉及增加密度，多層次,顯微鏡報價，逐步提高的步驟，這種類型使各項宏觀檢查職能，包括微型檢查（運輸），圖案方宏檢查，背面中心和外圍宏觀檢查,體視顯微鏡。用戶可以從三個型號- TMB，以舊換新,生物顯微鏡，和T-根據(jù)自己的需要選擇,北京顯微鏡。這些模型提供了多種特性，包括非接觸式定心由光電傳感器控制,北京生物顯微鏡，以防止污染;大，易于閱讀的LCD控制面板和高吞吐量的多ARM系統(tǒng),光學顯微鏡，簡化晶圓裝卸;和支持150毫米和200mm晶圓。
    （圖為***個Eclipse L200 IC檢查顯微鏡相結(jié)合晶圓裝載機的例子。）

IC檢測晶圓裝載機NWL860TMB SP
***個的宏觀檢查的主機需要***流的功能

    加強宏觀職能的TMB系列添加了以下功能：
    不銹鋼人體不會產(chǎn)生靜電
    提供緊急停止開關(guān)（EMO）
    真空吸盤裝置使用的PEEK塑料，使檢查晶圓是很難劃傷。
    符合SEMI（秒）標準的數(shù)據(jù)通信功能（可選）
    （照片是用Eclipse L200 IC檢查顯微鏡配置為例）