Park NX-Hivac
用于失效分析的高真空掃描
Park NX-Hivac 是***種尖端的高真空原子力顯微鏡，旨在為在高度摻雜的半導體進行精確的失效分析。
Park NX-Hivac 是***臺真正的高真空原子力顯微鏡，利用Park的招牌技術。
并提供可重復且容易實現的高清晰度和低噪聲的測量，使其成為提高實驗室效率和準確性的完美選擇。
Park NX-Hivac
世界上*精確的應用于失效分析的易用型高真空原子力顯微鏡
Park NX-Hivac
用于失效分析應用的高真空掃描
Park NX-Hivac允許故障分析工程師通過高真空SSRM提高測量的靈敏度和分辨率。高真空掃描能提供比大氣或干燥的N2條件下更高的精度、更好的可重復性，還能減少針尖和樣品的損傷，用戶從而可以在失效分析應用中測量更廣闊范圍的涂料濃度和信號響應。
在高真空條件下進行SSRM(Scanning Spreading-Resistance Microscopy-掃描擴展電阻顯微鏡)測量能夠減少所需的針尖-樣品相互作用力，這可顯著減少對樣品和針尖的損傷，并能延長每個針尖的壽命，使掃描更方便，并能通過提高空間分辨率和信噪比從而提供更準確的結果。高吞吐量、低成本、高精度使得NX-Hivac成為為故障分析工程師提供的高真空SSRM測量的*優選擇。
Park NX-Hivac
高***自動化特性
NX-Hivac可將用戶所需的輸入操作*簡化，用戶可以更快地掃描從而提高實驗室的實驗成果。
包含機動平臺的StepScan自動化
StepScan為用戶提供了對設備進行編程的能力，以快速且簡單地對多個區域進行成像。NX-Hivac只需用戶嘗試五個操作步驟掃描樣本：掃描、提升懸臂、將機動平臺移動到用戶定義的坐標、進針和重復。這極大地提高了測量效率，并將所需的用戶輸入操作減少到限度。
機動激光校準
帕克的機動式激光束校準模塊允許用戶在無需輸入任何操作的情況下自由地進行自動測量程序。利用我們的預對準懸臂架，激光束在探針交換時聚焦在懸臂上。然后通過電動定位旋鈕沿X軸和Y軸優化激光光斑位置。
燕尾式鎖定
AFM掃描頭可以快速且容易地固定到燕尾形軌道上，具有幾微米的定位重復性。
多樣品載臺
磁性載臺*多可以容納五個獨立的樣品。通過減少激活真空泵和排氣口的需求從而提高測量效率。
大型真空室
NX-Hivac具有300mm X 420mm X 320mm的腔室尺寸，允許用戶掃描更大的樣品尺寸并在不破壞真空密封的情況下將更多的樣品放入真空室樣品臺上。
簡單地探針和樣品更換
獨有的設計能讓用戶輕易地用手從側面更換新的探針和樣品。借助安裝懸臂式探針夾頭中預先對齊的懸臂，無需再進行繁雜的激光校準工作。
可用手輕易更換
Park NX-Hivac
為高效率而設計
NX-Hivac有幾個可用性特征，這使得它比其他的AFM更加方便和有效。
Park SmartScan?
世界上*易操作的原子力顯微鏡軟件
無論您的AFM需求集中在學術研究，還是工業計量或故障分析，NX-Hivac的智能掃描自動模式都提供了***個流水線系統，以生成高質量的AFM數據。SmartScan還可幫助初次使用的學者在短時間內獲得高質量數據。
Park Hivac Manager
NX-Hivac真空環境下自動控制
高真空度由Hivac Manger控制， 通過單擊按鈕進行邏輯和視覺控制，為優化真空條件和排氣過程提供泵送。每個過程都通過顏色和示意圖變化進行可視化監控，用戶無需擔心單擊按鈕后真空操作的順序。既迅速又便捷的真空控制軟件為用戶帶來易于使用的原子力顯微鏡操作和更好的測量效率。
自動真空抽放
NX-Hivac允許用戶設置真空泵和排氣的自動控制，進***步簡化掃描過程，減少所需的人力投入。采用渦輪泵和干式泵，平均泵速在10～5torr＜5min。
用戶友好界面
***個大的光學窗口提供對PSPD上的懸臂反射的激光光斑以及探針和樣品位置的便捷視圖。它還允許用戶輕松地控制視野，XY平臺，Z平臺，光學平臺，光強度和更多的CCD視圖。
SmartScan?智能模式下的單擊成像
用戶只需要確定的是原子力顯微鏡成像的像素密度和掃描尺寸。除了這些因素，您可將所有復雜的原子力顯微鏡參數都交由Park SmartScan?智能模式處理。系統將在*佳條件下開始測量，點擊按鈕后自動成像。
Park NX-Hivac
提高精度與效率
NX-Hivac是世界上*精確的高性能原子力顯微鏡，它也是*容易使用和方便用于失效分析的原子力顯微鏡。
Park NX-Hivac可幫助用戶提高測量效率并且完全信任您的測量結果。
閉環XY和Z軸掃描儀
為樣品和探針針尖而采用的兩個獨立的閉環XY和Z撓曲掃描儀，可保證用戶的掃描非常精確。NX-Hivac提供平面和正交的XY掃描，低殘余彎曲，在整個掃描范圍內提供小于1nm的平面外運動。NX-Hivac還具有15 μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀，Z軸掃描儀的非線性度小于0.5%。這提供了精確的2D和3D測量，而再也不需要軟件處理。
低噪聲XYZ位置傳感器
NX-Hivac的特色是Park AFM的行業的低噪聲Z探測器，它能夠精確地測量樣品形貌，而低噪聲XY閉環掃描將前后掃描間隙*小化到小于掃描范圍的0.15％。
24位數字電子
使用NX-Hivac中特有的NX系列標志的電子控制器，可使浪費的時間*小化，精度化。我們的控制器是***個全數字，24位高速設備，它的真正非接觸模式使用戶能夠執行廣泛的掃描范圍。該控制器具有低噪聲設計和高速處理單元，可滿足精密電壓和電流測量以及納米***成像。嵌入式電子器件還具有數字信號處理的特點，允許用戶容易地分析測量和成像。
規格
掃描儀
XY 掃描儀: 50 μm × 50 μm (100 μm x 100 μm optional)
Z 掃描儀: 15 μm
光學顯微鏡
物鏡: 10 x
5M pixel CCD
樣品臺
XY 平臺行程: 22 mm x 22 mm
樣品大學: 50 mm x 50 mm, 厚度厚至20 mm
物理信息
真空室: 300 mm x 420 mm x 320 mm (外部)
250 mm x 320 mm x 270 mm (內部)
系統(包含花崗石&氣泵):
800 mm x 950 mm x 1304 mm
軟件
SmartScan: 帕克AFM 操作軟件
XEI: AFM 數據分析軟件
Hivac Manager: 自動真空控制軟件
高真空
真空等***: 通常小于1 x 10-5 torr
泵速: 5 min內達到10-5 torr.
電子
ADC: 18 通道
4個高速ADC通道(50 MSPS)
用于X、Y和Z位置傳感器的24位ADC
DAC：12個通道
2個高速DAC通道道(50 MSPS)
用于X、Y和Z定位的20位DAC
3通道集成鎖相放大器
滬公網安備31011502016460號
