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儀器簡介：

NTEGRA Spectra 
是***款獨(dú)特的集成了掃描探針顯微鏡、激光共聚焦/熒光顯微鏡和拉曼光譜儀的系統(tǒng)。其強(qiáng)大的TERS效應(yīng)，可在得到拉曼光譜的同時(shí)獲得高達(dá)50nm的成像分辨率。
只有NTEGRA Spectra能在軟件、硬件等技術(shù)方面為集成Renishaw的拉曼光譜系統(tǒng)提供完美的方案，以便用戶能在分子水平上用不同的技術(shù)手段來分析、研究樣品。這樣的集成，能讓用戶極大的提高工作效率，將更多的時(shí)間用于數(shù)據(jù)采集和分析，而無需為繁瑣的儀器操作而苦惱。所以，可以負(fù)責(zé)任的說：真正的集成是遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于簡單的組合的。 

激光共聚焦顯微鏡/拉曼光譜儀系統(tǒng) 
NTEGRA Spectra 系統(tǒng)集成了激光掃描共焦光譜儀、光學(xué)顯微鏡和常規(guī)的掃描探針顯微鏡。該系統(tǒng)能用于發(fā)光光譜和拉曼散射的三維成像、所有的SPM功能，包括納米壓痕、納米加工和納米刻蝕等。.

掃描探針顯微鏡
除了光學(xué)檢測外，NTEGRA Spectra還可使用SPM的方法來研究樣品，諸如：AFM、MFM、STM、SNOM、力譜等等。這樣獨(dú)特的集成了光學(xué)方法和掃描探針方法合二為***的系統(tǒng)，為用戶完成復(fù)雜的實(shí)驗(yàn)變成可能，用戶可從實(shí)驗(yàn)中得到樣品的光學(xué)分布信息、化學(xué)性質(zhì)、力學(xué)性質(zhì)、電學(xué)性質(zhì)和磁學(xué)性質(zhì)等。 

用超越激光衍射極限的系統(tǒng)來研究樣品
NTEGRA Spectra 在檢測樣品時(shí)，能提供超越激光光學(xué)衍射的光學(xué)分辨率。近場光學(xué)顯微鏡和TERS系統(tǒng)能讓用戶得到光學(xué)性質(zhì)分布圖（激光傳輸、散射和偏振等）的同時(shí)獲得拉曼散射光譜和高達(dá)50nm的XY方向分辨率。

技術(shù)參數(shù)：

共聚焦顯微鏡
光學(xué)模塊                  正置或倒置光學(xué)顯微鏡觀測系統(tǒng)
                                  可見光譜測量 (390-800nm) 
                                  激發(fā)光路中配置手動式格蘭-泰勒起偏棱鏡 390-1000nm 
                                  檢測光路中配置電動式格蘭-泰勒檢偏棱鏡 390-1000nm  
                                  三軸定位電動式1/2波片 
                                  光束分離器
                                  可選配倏逝激發(fā)系統(tǒng)（用于TERS） 
光學(xué)分辨率              XY： 200nm 
                                  Z：500nm 
掃描模塊                  樣品質(zhì)量：1000g
                                  掃描范圍：100x100x25 um 
                                  XYZ三維全量程閉環(huán)控制掃描系統(tǒng)
                                  XY方向非線性度：0.03 % （典型值）
                                  Z方向噪音水平：<0.2 nm （典型值）
                                  XY方向噪音水平：<0.5 nm（典型值）
共聚焦針孔              直徑0~1.5mm可調(diào)，步進(jìn)0.5 um
注：無論樣品是否透明，都可用我們的共聚焦顯微鏡在空氣或液體環(huán)境中對其進(jìn)行研究。

拉曼光譜儀 
光譜儀焦長               520 mm 
激光器波長*             441, 488, 514, 532, 633 nm 
雜散光抑制               10^-5，（20nm 用632nm激光器 ）
平場面積                   28 mm x 10 mm 
光譜分辨率               0.025 nm (1200 l/mm光柵**) 
端口                           1輸入，2輸出 
光柵座                       4孔轉(zhuǎn)盤（3 個光柵+&ldquo;直接成像&rdquo;模式用的反射鏡） 
探測器                       CCD：光譜響應(yīng)范圍：200&ndash;1000 nm，電冷裝置冷卻至&ndash;80&deg;C，500nm時(shí)95% 量子效率 
                                   用于光子計(jì)數(shù)的APD***：光譜相應(yīng)范圍：400&ndash;1000 nm，暗計(jì)數(shù)=25/秒，提供高達(dá)1GHz計(jì)算速度的PCI 卡。 * 標(biāo)準(zhǔn)配置中包括***套488 nm激光器，其他波長激光器可選配 
** 可選配其他光柵。小階梯光柵具有的光譜分辨率 
***可選用PMT

掃描近場光學(xué)顯微鏡 
功能模式：剪切力成像/SNOM反射模式，透射模式，熒光模式（選配） 
激光模塊                   耦合裝置：X-Y-Z 定位器，定位精度1 um 
                                                       V型槽光纖固定器 
                                                       裝配40x物鏡 
                                                       光纖傳輸系統(tǒng) KineFlex^TM 
                                   光束衰減器：可配多種減光鏡 
剪切力成像               樣品尺寸：直徑100mm，厚度15mm 
                                   XY二維樣品移動平臺：樣品定位范圍5x5mm，樣品定位精度5um
                                   XYZ三維全量程閉環(huán)控制掃描系統(tǒng)
                                                      樣品掃描式                            針尖掃描式 
                                   掃描范圍 100x100x25 um                    100x100x7 um
                                   非線性度  XY 0.03 %（典型值）          <0.15% 
                                   噪音水平  Z <0.2 nm（典型值）          0.04nm（典型值），<=0.06nm 
                                   噪音水平   XY <0.5 nm（典型值）        0.2 nm（典型值），<=0.3 nm 
                                   石英音叉基頻                              190 kHz 
                                   光纖孔徑                                      <100nm 
可同時(shí)采集的數(shù)據(jù)通道 反射模式 
                                          透射模式/熒光模式 
PMT                            光譜響應(yīng)范圍：185-850 nm 
                                    靈敏度：3x10¹⁰，420 nm時(shí) 
隔振系統(tǒng)                    主動式：0.7-1000 Hz 
                                    被動式：大于1 kHz
 
掃描探針顯微鏡 
功能模式：AFM（接觸+半接觸+非接觸）/側(cè)向力模式/相位成像模式/力調(diào)制模式/粘滯力成像/磁力顯微鏡/靜電力顯微鏡/掃描電容顯微鏡/掃描開爾文探針顯微鏡/擴(kuò)展電阻成像模式/刻蝕：AFM（力和電流） 
樣品尺寸*                   直徑100mm，厚度15mm 
掃描范圍                     50x50x5 um 
閉環(huán)控制系統(tǒng)**         XYZ三維全量程閉環(huán)控制掃描系統(tǒng)，采用電容傳感器 
非線性度                     XY <0.15% 
噪音水平                     Z 0.06 nm（典型值），<=0.07nm 
噪音水平                     XY 0.1 nm（典型值），<=0.2 nm (XY 50 um) 
*掃描頭部可單獨(dú)使用，此時(shí)對樣品尺寸和重量無限制 
**內(nèi)置的電容傳感器擁有極低的噪音水平，即使降到50x50 nm的區(qū)域也可以用閉環(huán)控制來掃描

主要特點(diǎn)：

AFM探針和激光光斑完美的同步協(xié)調(diào)。AFM探針可在納米***的精度上定位于激光光斑中&mdash;在TERS中，這是必要的條件。在激光掃描和樣品掃描的6個軸中，全部采用全量程閉環(huán)控制系統(tǒng)。
高數(shù)值孔徑的光學(xué)物鏡和SPM系統(tǒng)緊密的集成在***起，讓系統(tǒng)的光學(xué)穩(wěn)定性達(dá)到前所未有的高度&mdash;為長程和微弱的信號而設(shè)計(jì)。
反射模式的激光光路可用于激光共聚焦成像。
電冷至-70&deg;C的CCD，用于光譜探測和成像。
也可選用APD來進(jìn)行光子計(jì)數(shù)。
在激發(fā)通道和檢測通道中，用戶可靈活方便的配置偏光光路。
多功能的集成軟件控制系統(tǒng)，所有的系統(tǒng)模塊包括AFM、光路系統(tǒng)和機(jī)械系統(tǒng)都由統(tǒng)***的軟件來控制。激光器、光柵、針孔等等，都可由軟件來切換或調(diào)節(jié)。
NT-MDT可根據(jù)用戶需求定制不同使用需求的TERS系統(tǒng)。