Semilab SE-2000 光譜型橢偏儀
Semilab SE-2000 Spectroscopic Ellipsometer
SEMILAB 光譜型橢偏儀是多功能薄膜測試系統，適合各種薄膜材料的研究。
產品描述
SE2000全光譜橢偏測試平臺基于橢圓偏振測試技術，采用的旋轉補償器，結合光纖技術將偏振光信號傳輸至分段光譜優化的高分辨率單色儀或陣列式多通道攝譜儀，測得線偏振光經過樣品反射后的偏振態變化情況，并通過樣品光學模型的建立，計算出單層或多層薄膜結構的厚度、折射率和消光系數，實現精確、快速、穩定的寬光譜橢偏測試。
SE2000全光譜橢偏測試平臺是Semilab針對產線和實驗線推出的多功能高速測試平臺。模塊化的設計，可選配300mm樣品臺或350*450mm平板樣品臺，Robot上片系統，圖形識別系統和數據通信系統，實現高速在線監控。在測試功能方面，可自由組合多種從190nm深紫外光譜至2400nm近紅外光譜的探測器，并可拓展FTIR紅外光譜測試模組、渦電流法非接觸式或4PP接觸式方塊電阻測試模組、Mueller Matrix各項異性材料測試模組、Raman結晶率測試模組、電子遷移率表征模組、LBIC光誘導電流測試模組、反射干涉測試模組等多種功能，使SE2000成為光學和電學特性表征綜合測試系統。
產品特點
業界專業光譜型橢偏儀測試設備廠商
業界標準測試機構定標設備，參與發布中華人民共和***橢圓偏振測試技術標準
業界較寬測試光譜范圍，選配190nm-25um，并可自動切換快速探測模式和高精度探測模式
配置實時對焦傳感器，實現高速測量
選配Robot上片系統，圖形識別系統和數據通信系統，實現在線監控
獨特的樣品臺結構設計，優化固定大尺寸的柔性材料
模塊化設計，可綜合監控樣品光學和電學特性
定期免費升***SOPRA材料數據庫
開放光學模型擬合分析過程，方便用戶優化測試菜單
主要應用
光伏行業：薄膜電池透明導電膜、非晶硅微晶硅薄膜電池、CIGS薄膜電池、CdTe薄膜電池、有機電池、染劑敏感太陽能電池
半導體行業：High-K、Low-K、金屬、光刻工藝、半導體鍍膜工藝、外延工藝
平板顯示行業：TFT、OLED、LTPS、IGZO、彩色濾光片
光電行業：光波導、減反膜、III-V族器件、MEMS、溶膠凝膠
主要技術指標
測試速度：＜1 sec （快速測試模式）
＜120 sec （高分辨率測試模式）
測量光譜分辨率：＜0.5nm@633nm （高分辨率測試模式）
＜0.8nm@633nm （快速測試模式）
*da樣品尺寸： 300mm
厚度測量范圍：0.01nm-50um
厚度測試精度：0.02nm @120nm SiO2 on Si
折射率測試精度：0.002 @120nm SiO2 on Si
不同配置：
SE-2xxx-全自動測試平臺
IRSE-紅外光譜型橢偏儀
SE-1000-低成本手動測試平臺
SE-1100-適于測試柔性襯底材料
EP-橢偏測孔隙率
LE-103PV-激光型橢偏儀
滬公網安備31011502016460號
