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真空紫外橢偏儀
價 格:詢價
產(chǎn) 地:更新時間:2021-01-18 16:44
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上海非利加實業(yè)有限公司
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專為VUV 測量設(shè)計,整個系統(tǒng)處于真空狀態(tài),無氧氣吸收。具備高度準(zhǔn)確性;的超快測量速度;快速樣品室抽真空能力,方便快速更換樣品;氮氣消耗量少。
產(chǎn)品特點
50KHz 高頻PEM 相位調(diào)制技術(shù)
45 秒內(nèi)完成充氮氣
2 分鐘內(nèi)完成樣品室抽真空
8 分鐘內(nèi)完成光譜全譜范圍內(nèi)測量
兩種工作模式:氮氣清洗結(jié)合抽
真空、連續(xù)氮氣清洗
光譜范圍:147nm~850nm;147nm~2100nm
重點應(yīng)用領(lǐng)域
超薄膜
157nm 光刻新材料
有機(jī)材料、高分子材料
高k 材料:HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz
抗反射涂層
半導(dǎo)體和介電材料電子躍遷
MgF2、CaF2、LaF3