INFICON UL1000 氦質(zhì)譜檢漏儀
價 格：詢價
產(chǎn) 地：美國更新時間：2020-10-16 14:35
品 牌：Inficon型 號：INFICON
狀 態(tài)：正常點擊量：1986
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產(chǎn)品參數(shù)
技術(shù)參數(shù)
最小可檢漏率（按AVS2.1和EN1518標準） | ＜5×10-12mbar.l/s |
最小可檢漏率（吸入器模式） | ＜3×10-8mbar.l/s |
入口壓強 粗檢模式 精檢模式 超精檢模式 | 15 mbar 2 mbar 0.4 mbar |
在抽空過程中的抽速 | 25立方米/小時 |
入口壓強對氦氣抽速 粗檢模式 精檢模式 超精檢模式 | 8 升/秒 7升/秒 2.5升/秒 |
可檢質(zhì)量數(shù) | 2、3、4amu, 氫，3氦，氦 |
電源電壓 | 110－120V；220－241V |
重量 | 110公斤；242磅 |
尺寸，包括手把（長×寬×高） | 1068×525×850毫米 |
產(chǎn)品介紹
UL1000氦質(zhì)譜檢漏儀的詳細資料：
INFICON UL1000 型氦檢漏儀尤其適用于元件精確檢漏的要求，靈活性測試，高靈敏度，快速于精確的結(jié)果，快速啟動，移動性和系統(tǒng)的可靠性。
UL1000符合做微電子工業(yè)市場的要求。其特點從堅固的金屬外殼并帶有適用于潔凈室的輪子，還有I-CAL（智能化漏率計算系統(tǒng)）,無與倫比的 噪聲抑制濾波，柔性均值算法和漂移抑制功能。用于消除在10-11至10-12超高靈敏漏率范圍中長時間平衡的程序。
系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的先進自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護性功能。UL1000的通風系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。
UL1000具有可轉(zhuǎn)動的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結(jié)果于狀態(tài)信息，這樣可遠距離方便地觀察讀值。
應用：
半導體工藝設(shè)備的維護，該設(shè)備本身帶或未帶有真空泵
工藝氣體系統(tǒng)的檢測與安裝
元器件在組裝前的漏率測試
要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應用場合
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
