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SuperATW 超薄窗口，10mm2 活區(qū)；
在MnKα 處的分辨率: 優(yōu)于133eV；
自動液氮水平監(jiān)視器以及報(bào)警系統(tǒng)；
分析元素范圍：Be4-U92
不使用能譜儀時(shí)無需加液氮，即真正的熱循環(huán)探測器；
專利的探測器自動優(yōu)化裝置，除污染技術(shù)確保輕元素性能長期優(yōu)良；
高性能，低噪聲，專利的 FET 場效應(yīng)管 x-sight 電荷復(fù)位技術(shù)；
牛津儀器公司90%的探測器實(shí)測分辨率為125-130eV
牛津儀器公司探測器優(yōu)異的超輕元素分辨率表現(xiàn)

中文界面導(dǎo)航器：

操作簡單易行，只需幾步即可完成分析； 

高度智能化，操作者無需經(jīng)驗(yàn)即可操作，并得到高質(zhì)量的分析結(jié)果；
而且只需通常的1/3 工作時(shí)間 ( 從啟動到***終報(bào)告)。
收譜過程實(shí)時(shí)自動識別并標(biāo)注元素峰位，可任選元素的K，L，M線系標(biāo)定,采用標(biāo)準(zhǔn)樣品譜庫進(jìn)行譜峰擬合，元素標(biāo)識為唯***解。

可在電子圖象和能譜譜圖上使用中文或英文標(biāo)注特征 (相或顆粒) 的名稱和編號，使實(shí)驗(yàn)結(jié)果清晰明了。
多譜比較： 可將多個(gè)區(qū)或點(diǎn)的譜，沿Z軸排列，進(jìn)行比較 　
定量分析采用XPP修正方法, 結(jié)果比傳統(tǒng)的ZAF或PRZ方法修正誤差小2/3

元素面分布SmartMap的特點(diǎn)是：全息數(shù)據(jù)采集，即***次掃描，從B4-U92全部數(shù)據(jù)采集，多次重復(fù)調(diào)用。如果在實(shí)驗(yàn)結(jié)束后發(fā)現(xiàn)漏掉某些元素或特征，無需重新開啟SEM和EDS，只需打開電腦，即可得到全部所需數(shù)據(jù) ( 如任何點(diǎn)的定量，線/面掃描，特征分析等 )。
INCA Energy 預(yù)先設(shè)置四十多種專業(yè)的實(shí)驗(yàn)報(bào)告格式任選，也可自行簡單地以模塊化形式編輯或創(chuàng)建實(shí)驗(yàn)報(bào)告格式，單鍵即可將實(shí)驗(yàn)報(bào)告轉(zhuǎn)變成 Microsoft Word形式。