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美國(guó)Trion批量生產(chǎn)用設(shè)備去膠系統(tǒng)

商品編號(hào)：89233

美國(guó)Trion批量生產(chǎn)用設(shè)備去膠系統(tǒng)

價(jià) 格：詢價(jià)

產(chǎn) 地：更新時(shí)間：2021-01-19 15:36

品牌：型號(hào)：Gemini 和Apollo

狀態(tài)：正常點(diǎn)擊量：2608

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Trion 去膠系統(tǒng)Gemini 和Apollo

詳細(xì)介紹

美***Trion Technology
反應(yīng)式離子刻蝕系統(tǒng)及沉積系統(tǒng)

Trion始于***九八九年的等離子刻蝕與沉積系統(tǒng)制造商，Trion為化合物半導(dǎo)體、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))、光電器件以及其他半導(dǎo)體市場(chǎng)提供多種設(shè)備。我們的產(chǎn)品在業(yè)內(nèi)以系統(tǒng)占地面積*小、成本低而著稱，且設(shè)備及工藝的可靠性和穩(wěn)定性久經(jīng)考驗(yàn)。從整套的批量生產(chǎn)用設(shè)備，到簡(jiǎn)單的實(shí)驗(yàn)室研發(fā)用系統(tǒng)，盡在Trion。

批量生產(chǎn)用設(shè)備去膠系統(tǒng)Geminiollo :

- 低損傷去膠系統(tǒng)

新式去膠系統(tǒng)的成本已攀升到不合理水平，但Trion已通過(guò)兩套價(jià)格低廉、緊湊的多功能系統(tǒng)使這***關(guān)鍵問(wèn)題得到解決：Gemini和Apollo。利用ICP(電感耦合等離子)、微波和射頻偏置功率，可以在低溫條件下將難于消除的光刻膠去除。根據(jù)應(yīng)用要求，每套系統(tǒng)可以結(jié)合SST-Lightning 微波源(既可靠又沒(méi)有任何常見(jiàn)的微波調(diào)諧問(wèn)題) 或ICP 技術(shù)。

• 刻蝕速率高達(dá)6微米/分
• 高產(chǎn)量
• 等離子損傷低
• 自動(dòng)匹配單元
• 適用于100mm 到300mm 基片
• 設(shè)備占地面積小
• 價(jià)格具競(jìng)爭(zhēng)性

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產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品介紹

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