分析型探針臺(tái)產(chǎn)品簡(jiǎn)介
CH系列 主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)。
應(yīng)用領(lǐng)域
l 探針臺(tái)應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺(tái)面上，是具有防震裝置的工作臺(tái)上，避免在高溫，潮濕激烈震動(dòng)，陽(yáng)光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。
l 使用*佳溫度范圍為5℃～40℃，*佳濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時(shí)門窗盡可能關(guān)閉，使室內(nèi)達(dá)到除濕效果。
l 使用電源：220±10%，50~60Hz
分析型探針臺(tái)參數(shù)規(guī)格
1、主要性能參數(shù)：
型號(hào):CH-8分析探針臺(tái) |
特點(diǎn) |
舒適大手柄驅(qū)動(dòng)CHUCK |
可以升***做射頻測(cè)試 |
20X~4000X 光學(xué)顯微放大 |
無(wú)后座力移動(dòng) |
針座平臺(tái)可以快速升降便于wafer取放 |
針座平臺(tái)可以微調(diào)升降便于探針卡再定位 |
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規(guī)格 |
真空吸附型Chuck | 8" 不銹鋼 |
Chuck X-Y軸行程 | 8" x8" |
Chuck 旋轉(zhuǎn)角度 | 0~360 度 |
針座平臺(tái)上下粗調(diào)行程 | 6mm 通過(guò)升降桿調(diào)整 |
針座平臺(tái)上下細(xì)粗行程 | 25 mm 通過(guò)旋轉(zhuǎn)手輪 |
針座平臺(tái) | 可以放置8個(gè)針座 |
顯微鏡X-Y軸行程 | 2" x2" |
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需求 |
電力 | 220 VAC, 60Hz |
真空 | -250 mmHg, 7 liter/min |
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尺寸 |
840mm長(zhǎng) x 660mm寬 x 700mm高(帶顯微鏡) |
重 180 Kg(帶顯微鏡) |
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可選附件 |
Chuck快速拉出裝置 |
顯微鏡傾仰裝置 |
激光修復(fù) |
探針卡夾具 |
加熱臺(tái) |
高低溫樣品臺(tái)(-80-200℃) |
探針夾具安裝：
● 使用配套螺絲將夾具傾仰安裝固定到探針座上，可以根據(jù)需要進(jìn)行上下調(diào)節(jié)位置
● 將探針座擺放在U型平臺(tái)上固定好，擰松傾仰夾頭4個(gè)螺絲，把夾具金屬桿放入限位孔內(nèi)，調(diào)整合適位置后擰緊螺絲
● 用鑷子夾住探針中部，將彈簧夾具的彈簧壓縮至探針固定孔露出，將探針插入固定孔，調(diào)整好位置后放松彈簧（注意：操作過(guò)程中不要觸碰到針尖，否則針尖會(huì)變彎）
(傾仰夾頭)
（夾頭按需要可上下調(diào)節(jié)）
（將此滑套往后推，用鑷子夾住探針推入夾針孔內(nèi)）
（將鎖緊螺母擰松，將夾具桿推入合適的位置）
探針臺(tái)配件
1、體式顯微鏡 （可選配高倍率晶相顯微鏡）
產(chǎn)品參數(shù)和特點(diǎn)：
① 鑒別力高，視場(chǎng)范圍大，景深長(zhǎng)。
② 工作距離長(zhǎng)至115mm。
③ 左右目鏡屈光度可調(diào)正負(fù)5度，能滿足不同視力的操作者觀察。
④ 能隨意調(diào)節(jié)手輪的力矩，滿足不同操作者的使用習(xí)慣，更可以鎖定手輪，方便定倍觀察。
⑤ 本顯微鏡為連續(xù)變倍，變倍比為6.3：1 ，物鏡變倍范圍0.8X-5X。
⑥ 雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調(diào)節(jié)范圍52-75mm.
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：
產(chǎn)品造型比較新穎
機(jī)械特性優(yōu)越，操作舒適度高。
光學(xué)系統(tǒng)鑒別力達(dá)300線對(duì)以上，符合標(biāo)準(zhǔn)
超長(zhǎng)的工作距離位于***內(nèi)同行之***
獨(dú)有的3A設(shè)計(jì)
創(chuàng)見(jiàn)性人機(jī)學(xué)設(shè)計(jì)，產(chǎn)品細(xì)節(jié)考慮全面。
3A特性：
密封性－－－－－－-防塵,防油防水污染
此種接口密封性設(shè)計(jì)能安全防塵防油防水或其它污染－－－－-這就減少了常規(guī)的維護(hù),從而降低了總的費(fèi)用.
防霉性－－－－－－使其同樣適用于悶熱或潮濕的環(huán)境
此獨(dú)有的設(shè)計(jì)保證了顯微鏡在高溫或是潮濕下都能安然無(wú)恙
防靜電－－－－－－防靜電設(shè)計(jì)可以釋放顯微鏡內(nèi)不斷產(chǎn)生的靜電,防止標(biāo)本被損壞,保證提高產(chǎn)量和降低產(chǎn)品成本
應(yīng)用領(lǐng)域：
教學(xué)示范，生物工程,IT產(chǎn)業(yè)檢測(cè)，材料分析等領(lǐng)域。
2、針座和探針夾具（可選）
針座規(guī)格 | BT-200型 | BT-100型 | BT-40-T型 | BT-40型 |
尺寸 | 90mmW x 130mmD x 90mmH | 90mmW x 130mmD x 90mmH | 52mmW x 96mmD x 76mmH | 38mmW x 62mmD x 45mmH |
重量 | 1000 克 | 600 克 | 300克 | 200 克 |
精度 | 0.35 Micron | 0.7 Micron | 2 Micron | 10 Micron |
牙具 | 200牙/寸 | 牙具 100牙/寸 | 40牙/寸 | 40牙/寸 |
X-Y-Z線性行程 | 12mmX12mmX12mm | 12mmX12mmX12mm | 12mmX12mmX12mm | 12mmX12mmX12mm |
3、JVC模擬CCD
特點(diǎn)
l 1/3寸CCD,44萬(wàn)像素
l 535電視線的水平分辨率
l 0.7Lux的照度（F1.2，25%，AGC開(kāi)啟）
l 50dB的高信噪比（AGC OFF）
l 內(nèi)置10bit 數(shù)字圖像處理器
Winfast XP100視頻采集卡
特性
l 可選擇的影像來(lái)源信號(hào)
可以提供不同的輸入端子，使其能夠連接不同的影像
輸出設(shè)備，如錄放影機(jī)、***庭攝影機(jī)、雷射光碟機(jī)、
影音光碟機(jī)及CCD攝影機(jī)，提供全方位的解決方案。
l 可編輯剪接影像片段
可以從輸入的影像來(lái)源做即時(shí)的動(dòng)態(tài)捕捉或靜態(tài)補(bǔ)捉，并存成電腦可以接受并編輯的AVI電影檔或***般的圖形檔，再透過(guò)類似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相關(guān)應(yīng)用軟體，便可加入各種***與剪接編輯
4、探針夾具
● 彈簧式
使用便利，可用于較短時(shí)間的大電流（超過(guò)1安培）穩(wěn)定性好，采用進(jìn)口同軸線纜，精度漏電為10PA，輸出BNC（male）接頭
● 管狀式
測(cè)量微弱電流用，同時(shí)可接高壓，采用進(jìn)口triax線纜，前端管裝屏蔽結(jié)構(gòu)，漏電小于100FA，高壓可耐1000V（需要配合屏蔽箱）
5、探針
美***GGB
型號(hào) | 針尖直徑 | 針桿直徑 | 針長(zhǎng) | 材質(zhì) | 根/盒 |
軟針類:適用于集成電路內(nèi)部線路點(diǎn)針
 |
T-4-5 | 0.2 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬鎢材質(zhì) | 5 |
0.2微米直徑的針須焊接于鎳質(zhì)針桿上 | |
T-4-10 | 0.7 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬鎢材質(zhì) | 5 |
0.7 微米針須焊接于鎳質(zhì)針桿上 | |
硬針類:適用于集成電路電極點(diǎn)針
 |
ST-20-0.5 | 1 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬鎢材質(zhì) | 10 |
ST-20-1.0 | 2 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬鎢材質(zhì) | 10 |
ST-20-2.0 | 5 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質(zhì) | 10 |
ST-20-5.0 | 10 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質(zhì) | 10 |
ST-20-10 | 20 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質(zhì) | 10 |
6、真空泵
日東工器VP0125
規(guī)格：
l 電壓：AC220V
l 流量：7L/min
l 真空度：-60KPa
l 質(zhì)量：0.7Kg
功能
l 提供真空動(dòng)力源。
l 配合 CHUCK上的真空吸附孔來(lái)固定樣品。
l 配合真空吸附型探針座，固定探針座。
特點(diǎn)
● 無(wú)油靜音，特別適合實(shí)驗(yàn)室和潔凈室使用。
● 7升/分鐘，可24小時(shí)無(wú)間斷運(yùn)轉(zhuǎn)。
7、防震桌
特點(diǎn)：隔振支撐采用超薄復(fù)合材料氣囊、自定心準(zhǔn)無(wú)摩擦球頭擺桿和帶附加擴(kuò)散口的多小孔準(zhǔn)層流阻尼技術(shù)，隔振性能良好。自動(dòng)水平，自動(dòng)充氣，全部氣動(dòng)執(zhí)行元件采用德***FEST0產(chǎn)品，靜音空氣壓縮機(jī)氣源、噪聲低。
應(yīng)用范圍：適用于對(duì)振動(dòng)要求高的場(chǎng)所。 如光電測(cè)量、全息成像、光柵制作等。輕松 調(diào)節(jié),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。
技術(shù)參數(shù)：
臺(tái)面為三層夾心蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)，采用ICR17優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼
平臺(tái)表面粗糙度0.5?0.6 um
平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2
固有頻率1.5 ~2 Hz
振幅小于1 um
重復(fù)定位精度±0.10 mm
工作壓力0.2~0.6(Mpa)
具體尺寸可根據(jù)客戶需求定制
8、屏蔽箱
CINDBEST CB-6
參數(shù)和特點(diǎn)
l 尺寸：880mm寬x710mm長(zhǎng)x1140mm高
l 屏蔽光線和電磁干擾。
l 匹配探針臺(tái)和防震桌設(shè)計(jì)。
l 與探針夾具配合可將測(cè)試電信號(hào)的漏電精度達(dá)到100fa ，可抗2000V高壓。
l 屏蔽箱上配備轉(zhuǎn)接頭，便于在關(guān)閉屏蔽箱時(shí)線路在箱內(nèi)外的良好連接。
l 上掀式結(jié)構(gòu)，節(jié)約空間，操作便捷。
l 可根據(jù)客戶需求定制。
探針臺(tái)的使用方法
1、 將樣品載入真空卡盤(pán)，開(kāi)啟真空閥門控制開(kāi)關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上。
2、 使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3、 使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。
4、 顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。
5、 待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，*后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。
6、 確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。
注意事項(xiàng)
當(dāng)您使用本儀器時(shí)，可能會(huì)碰到***些問(wèn)題，下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法。
癥狀 | 可能原因 | 解決方法 |
移動(dòng)樣品后畫(huà)面變模糊 | 顯微鏡不垂直 | 調(diào)垂直顯微鏡 |
樣品臺(tái)不水平 | 調(diào)水平樣品臺(tái) |
樣品不平 | |
顯微鏡視場(chǎng)亮度不足，邊緣切割或看不到像 | 轉(zhuǎn)換器不在定位位置上 | 把轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)到定位位置上 |
管鏡轉(zhuǎn)盤(pán)不在定位位置上 | 把管鏡轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)到定位位置上 |
照明的亮度不足 | 調(diào)節(jié)光源亮度或者把孔徑光欄孔調(diào)大 |
沒(méi)有裝目鏡 | 裝上目鏡 |
沒(méi)有裝物鏡 | 裝上物鏡 |
顯微鏡像質(zhì)變差 | 目鏡臟 物鏡臟 管鏡臟 | 對(duì)目鏡，物鏡，管鏡臟的地方進(jìn)行清潔 |
孔徑光欄關(guān)的太大或者太小 | 調(diào)節(jié)孔徑光欄 |
沒(méi)有調(diào)好焦 | 調(diào)節(jié)調(diào)焦手輪 |
樣本上蓋有蓋玻片等介質(zhì) | 移開(kāi)蓋玻片等介質(zhì) |
圖像***邊清晰，***邊模糊 | 樣本傾斜放置 | 放平樣本，或者調(diào)節(jié)樣品臺(tái)水平 |
物鏡沒(méi)有旋緊 | 旋緊物鏡 |
眼睛容易疲勞 | 雙目頭的瞳距和操作者不匹配 | 調(diào)節(jié)雙目頭的瞳距 |
| 目鏡視度調(diào)節(jié)不正確 | 調(diào)節(jié)目鏡視度 |
| 照明亮度不合適 | 調(diào)節(jié)光源亮度或者孔徑光欄孔 |
儲(chǔ)存方式
1、避免碰撞
l 在安裝，操作CS探針臺(tái)時(shí)應(yīng)避免碰撞，機(jī)體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。
2、儀器的運(yùn)輸
l 儀器運(yùn)輸時(shí)，請(qǐng)先拔掉電源線插頭。
l 儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。
3、儀器的存放
l 使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機(jī)械精密部件，光學(xué)部件，電學(xué)接觸面污染，導(dǎo)致儀器精度降低。
l 探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí)，避免直接潑水清理，以無(wú)塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機(jī)器，以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。
l 探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí)，可用鏡頭紙蘸無(wú)水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無(wú)水酒精時(shí)易燃物，注意使用安全。
l 停電或長(zhǎng)期不用、外出旅行時(shí)，請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命.
l 操作人員必須嚴(yán)格按要求操作，以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號(hào)
