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 氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)

特點(diǎn)：內(nèi)置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng)，具備**的固有頻率，對(duì)多個(gè)方向的振動(dòng)特別是垂直方向有著良好衰減效果，避免外界振動(dòng)干擾設(shè)備儀器精度，提高儀器設(shè)備使用精度和使用效率。自動(dòng)調(diào)節(jié)水平功能：放置負(fù)載的位置發(fā)生變化，平臺(tái)迅速通過(guò)高精度閥門自動(dòng)調(diào)整空氣彈簧內(nèi)部的氣壓，自動(dòng)保持水平。
應(yīng)用范圍：適用于對(duì)振動(dòng)要求高的場(chǎng)所。 如光電測(cè)量、全息成像、光柵制作等。輕松 調(diào)節(jié),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。

型號(hào)        大小(mm)    支撐腿數(shù) 螺紋孔 孔距（mm)
CBDT06-06 600x600x800    4       M6    25
CBDT09-06 900x600x800    4       M6    25
CBDT10-07 1000x700x800   4       M6    25
CBDT10-08 1000x800x800   4       M6    25
CBDT12-08 1200x800x800   4       M6    25
CBDT15-09 1500x900x800   4       M6    25
CBDT15-10 1500x1000x800  4       M6    25
CBDT16-09 1600x900x800   4       M6    25
CBDT18-12 1800x1200x800  4       M6    25
CBDT20-10 2000x1000x800  4       M6    25
CBDT20-12 2000x1200x800  4       M6    25
CBDT24-12 2400x1200x800  4       M6    25
CBDT30-10 3000x1000x800  4       M6    50
CBDT30-12 3000x1200x800  4       M6    50
CBDT30-15 3000x1500x800  4       M6    50
 

CINDBEST氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)技術(shù)參數(shù)

可測(cè)片型：3 inch、  4 inch

測(cè)試硅片單元尺寸：20—200 mil

定位精度：≤ ±0.01mm/110mm

自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)精度：±0.01mm

誤測(cè)率：≤ 1 ‰

全自動(dòng)對(duì)位時(shí)間：≤ 15 s

測(cè)試速度   45 mil   5.0 pcs/s

                 50 mil   4.6 pcs/s

                 87 mil   4.2 pcs/s

步進(jìn)分辨率：0.001

Z向行程：0～5mm 可調(diào)

承片臺(tái)轉(zhuǎn)角θ調(diào)節(jié)范圍：±20o

規(guī)格參數(shù)：該系列光學(xué)平臺(tái)臺(tái)面材料為Cr13不銹鋼10.2碳鋼10.6，內(nèi)芯采用蜂窩支撐，合理的硬重比提供優(yōu)良的抗振性能。精心加工的含磁不銹鋼臺(tái)面平面度高，烏光效果特別適用于光學(xué)實(shí)驗(yàn)，不**眼睛，減少雜散光。臺(tái)面陣列的標(biāo)準(zhǔn)孔距螺紋孔便于固定各種調(diào)整架。特殊規(guī)格接受定制。  
平面度: 0.05mm/m2
孔距: 25mmX25mm
孔徑: M6
粗糙度:<0.8um
表面密迪紋處理