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產 地：更新時間：2021-05-10 13:59
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原子力顯微鏡AFM探針:
探針的工作模式：主要分為 掃描（接觸）模式和輕敲模式
探針的結構：懸臂梁+針尖
探針針尖曲率半徑Tip Radius：一般為10nm到幾十nm。
制作工藝：半導體工藝制作
常見的探針類型：
（1）、導電探針（電學）：金剛石鍍層針尖，性能比較穩定
（2）、壓痕探針：金剛石探針針尖（分為套裝和非套裝的）
（3）、氮化硅探針：接觸式（分為普通的和銳化的）
（4）、磁性探針：應用于MFM，通過在普通tapping和contact模式的探針上鍍Co、Fe等鐵磁性層制備
（5）、電化學探針（STM）: 電學接觸式和電學輕敲式
（6）、FIB大長徑比探針：測半導體結構，專為測量深的溝槽（深孔）以及近似鉛垂的側面而設計生產的。
中型探針定位器探針座
IGBT高壓大電流測試探針測試臺
探針臺
精密氣浮防震桌
高低溫真空探針臺，高磁場環境測試探針臺
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