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基本型號 

MT-50A

滿量程流量范圍(N2)

SCCM

0～5，10，20，30，50，100，200，500

SLM

0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30,100,200

精度(％F.S)

±1(≤15SLM)

±2(＞15SLM.)

控制閥動作型式

常閉式

線性(％F.S.)

±0.5～1(≤15SLM)

±2％(＞15SLM.)

重復精度(％F.S.)

±0.2

響應時間(sec)

≤3

流量輸出信號

4-20mA

流量設定信號

4-20mA

電器接頭

DB15 pin(接頭)

工作環境溫度

(℃)

5～45

工作壓差

(MPa)

0.1～0.3

漏率

SCCSHe

1×10-9

大耐壓

3MPa

介質接觸材質

304，316，316L

密封材料

氟橡膠，硅橡膠，聚四氟乙烯

接頭

VCR " 1/4、1/2

Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm

接頭和尺寸

Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm

1/4"VCR:127×28×100mm

電源要求

+15V,50mA;-15V,200mA

重量

0.75KG