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SpecEL-2000-VIS from微派克 (Mikropack) 是***款操作便捷的臺(tái)式光譜橢偏儀，主要應(yīng)用于薄膜測(cè)量。它具有經(jīng)濟(jì)實(shí)用、小巧、便利和擁有便捷的樣品支架以及***鍵化操作等特點(diǎn)。SpecEL-2000-VIS適用于測(cè)量平整和半透明的樣品，例如晶圓和玻璃片。
 

光譜橢偏儀測(cè)量光的相位和振幅的相對(duì)變化而不是傳統(tǒng)的絕對(duì)光強(qiáng)(反射測(cè)量法)。因此這項(xiàng)技術(shù)不同于參考測(cè)量法，可以同時(shí)得到多重參數(shù)。高速測(cè)量保證系統(tǒng)可以在5－15秒內(nèi)得到樣品厚度，同時(shí)也可得到反射系數(shù)(n)和吸收率(k)與波長(zhǎng)(450-900nm)之間的函數(shù)。

SpecEL-2000僅有標(biāo)準(zhǔn)橢偏儀價(jià)格的***半，卻包括了***個(gè)集成的寬光譜光源，導(dǎo)光器件，起偏器，樣品臺(tái)，檢偏器，增強(qiáng)光學(xué)元件和微型線陣列CCD光譜儀。整個(gè)系統(tǒng)的外形尺寸僅有52×33×24cm，入射光的角度固定在70度。

對(duì)于不同的層狀和襯底樣品，SpecEL可以測(cè)量的層厚在0.1nm到8um之間，精度達(dá)到1nm。隨系統(tǒng)還有***套以32位的Windows平臺(tái)操作軟件，它具有強(qiáng)大的功能并能提供各種模型，例如Cauchy，OJL，Tauc-Lorentz，Drude，EMA和不同的振蕩器。這套軟件同時(shí)存儲(chǔ)了特定的測(cè)試模式，減少了煩瑣的反復(fù)測(cè)量和重復(fù)工作。

可以選擇高分辨率的組件，將照射到樣品上的光斑尺寸從2×4mm縮小到200×400um。還有其他可以選擇的組件，例如2維繪圖附件，參照晶圓和各種按需定制的解決方案。