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技術(shù)參數(shù) 1.光譜范圍230nm~850nm
2.手動(dòng)改變?nèi)肷浣嵌?
3.實(shí)時(shí)測(cè)量
4.快速數(shù)據(jù)獲取
主要特點(diǎn) 1.測(cè)量快速、簡(jiǎn)便
2.先進(jìn)的探測(cè)系統(tǒng)極大提高信噪比
3.分別測(cè)量1000個(gè)以上光譜點(diǎn)
4.光學(xué)器件集成度高
儀器介紹 韓***NanoView公司在橢偏儀領(lǐng)域不斷創(chuàng)新，擁有多項(xiàng)專利技術(shù)。多年來***直致力于高性能橢偏儀的研制與生產(chǎn)，其產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體、導(dǎo)體、介質(zhì)和液體薄膜的厚度、光學(xué)特性、成分比例和表面粗糙度等測(cè)量和分析，也可用于半導(dǎo)體器件和FPD顯示等領(lǐng)域。目前主要產(chǎn)品分光橢偏儀，以獨(dú)特的設(shè)計(jì)和無需校準(zhǔn)等多項(xiàng)先進(jìn)專利技術(shù)，使得測(cè)試時(shí)間大大減少的同時(shí)極大地增加了測(cè)量精度。
***新開發(fā)的多傳感頭的分光橢偏儀，用于半導(dǎo)體和顯示器生產(chǎn)線的在線Mapping分析。

SE－MG 1000型變角光譜橢偏儀：
光譜范圍 340－850nm，紫外可選（230－850nm），變角測(cè)角儀，可精密測(cè)量薄膜厚度、折射指數(shù)及其他性質(zhì) ，可進(jìn)行多層膜模擬分析 ，數(shù)據(jù)分析：Del,Psi,n,k,d ，測(cè)量精度 1 ?

SE－MF 1000型固定入射角光譜橢偏儀：
采用專利的無需校準(zhǔn)、無需標(biāo)定技術(shù)和獨(dú)特的無臂結(jié)構(gòu)，USB接口和計(jì)算機(jī)連接，配合強(qiáng)大的控制分析軟件和多通道檢測(cè)器，測(cè)試速度快，10ms檢測(cè)全光譜，是您實(shí)驗(yàn)室分析薄膜的極佳工具。可廣泛應(yīng)用于：測(cè)量薄膜/多層膜的厚度、表面粘污， 表面與界面粗糙度、反射率， 組成與空隙率、合金比例等。

Rubbins-1000型Mapping光譜橢偏儀：
新開發(fā)的世界第***臺(tái)LCD rubbing檢測(cè)系統(tǒng)，同時(shí)也是世界上第***套能檢測(cè)rubbing膜和聚酰亞氨膜的設(shè)備，也可用于LCD面板和正在發(fā)展中的半透明膜和CD 測(cè)試。
主要特點(diǎn)：適用于厚膜和薄膜測(cè)試
測(cè)試精度高
響應(yīng)速度快
測(cè)量時(shí)間短
旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償技術(shù)
無需旋轉(zhuǎn)樣品或測(cè)量頭
不但可用于研發(fā)還可用于生產(chǎn)線檢測(cè)
大吞吐量樣品
Rubbins不用旋轉(zhuǎn)樣品就可以測(cè)量任何代包括第7代和第8代的整個(gè)薄膜面板